1. 激光波長:1064nm。
2. 激光頻率:大于6kHz。
3. 光斑直徑≤50um。
4. 光學系統:帕型-龍格。
5. 光譜范圍:190nm-680nm。
6. 光譜分辨率:0.03nm。
7.探測器:定制CMOS。
8.工作溫度:0℃~35℃。
9.二維位移平臺:橫向和縱向最大位移距離≥10mm,速度0-10mm/s可調,位移精度小于0.1mm。
10.等離子處于高純氬氣氛圍。
11.230nm以下光譜波段光譜儀及通光路徑處于高純氬氣氛圍。
12.具有樣品位置監測功能。
13.數據庫功能:內置光譜全譜數據庫,提供完整的譜線數據庫,可對譜線數據庫、工作方法、測量結果進行查找、存儲。
14.具備成熟定量分析數據庫模型,可準確定量分析Fe,Al,Cu,Ni,Zn,Mg,Co,Ti等八種基體合金中多種元素。
15.可準確定量分析鋰電池正極材料,半導體工業硅材料等時下熱點行業關鍵原材料。
16.具有光譜圖顯示,未知元素探尋,定性半定量提示功能。
17.開放光譜軟件功能。
18.軟件算法:支持內標法、基底扣除等,扣背景等干擾校正算法。
19.視覺識別:可制定樣品分析區域,進行樣品數據分析并保存libs數據。
20.2D/3D域掃描成像樣品掃描區域后,區域內得到的能譜圖按特定的元素峰畫圖,得到位置和這個元素峰的強度的關系趨勢,也可以反應每個位置特定元素的含量相對關系。
21.質保期為1年,質保期自儀器接受之后自驗收合格之日簽字起算 ,質保期內提供一切免費維修保養服務、免費更換零配件和免費軟件升級服務等。